طراحی شتاب سنج mems
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تهران
- نویسنده علی ابوالقاسمی آزاد
- استاد راهنما محمد محبوب جهرمی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1382
چکیده
طراحی شتاب سنج بر مبنای فناوری میکروماشینکاری موضوع این پایان نامه می باشد.از میان انواع مبدلهای موجود دراین مقیاس از نوع خازنی آن بهره برده شده است.جنس شتاب سنج سیلیکان است.در پایان نیز پارامترهای عملکرد شتاب سنج ارائه شده است.
منابع مشابه
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور
در این مقاله، یک میکروحسگر شتاب با طرحی ساده، هزینه ساخت پائین، حجم و وزن کم و همچنین حساس به شتاب‌های بسیار کوچک با قابلیت اندازه‌گیری شتاب در دو محور طراحی شده است. در طرح پیشنهادی از روش حرارتی - همرفتی برای اندازه‌گیری شتاب استفاده شده است. این میکرو حسگر شامل یک المان گرم‌کننده (هیتر) و دو جفت حسگر دما (دیتکتور) می‌باشد. با اعمال شتاب در راستای محور X یا Y دمای دیتکتورها متناسب با شتاب اعم...
متن کاملطراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی mems
بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...
15 صفحه اولطراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی با تکنولوژی mems
در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...
15 صفحه اولمدل سازی خطا و آنالیز دقت شتاب سنج میکروالکترومکانیکی mems
در این پایان نامه خطاهای یک شتاب سنج mems مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی شده اند. مدل پیشنهاد شده برای خطاهای سیستمی شتاب سنج شامل بایاس، ضریب مقیاس و ناهم محوری می باشد. تست های مناسبی برای دست یابی به پارامترهای مدل فوق طراحی و پیاده سازی شده است. همچنین تأثیر دما بر پارامترهای ذکر شده مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی خطاهای تصادفی با استفاده از تکنیک واریانس آلن صورت پذیرفته است.
طراحی و شبیه سازی سنسور شتاب سنج رزنانس با تکنولوژی mems در محدوده 50g
در این پروژه ساختار جدیدی برای شتاب سنج رزنانس پیشنهاد و شبیه سازی شده است. اساس کار این شتاب سنج به این صورت است که شتاب اعمالی به جرم متحرک سبب اعمال نیرو به آن می شود. نیروی اعمالی به جرم متحرک از طریق دو نوع مکانیسم میکرواهرم تقویت شده و به نوسانگر منتقل می شود. نیروی اعمال شده به نوسانگرها با تغییر استرس اعمالی به آنها سبب تغییر فرکانس رزنانس آنها می شوند. بنابراین با توجه به تغییرات فرکان...
منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تهران
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023